高純氣體輸送系統中氣體與管道的關系
- 分類：新聞資訊
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2022-04-24
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【概要描述】高純氣體管道技術是高純氣體供應系統的重要組成部分，是能否將符合要求的高純氣體輸送到用氣點并保持質量合格的關鍵技術。所謂高純氣體管道技術包括系統的正確設計、管件和附件的選擇、施工、安裝、試驗等。近年來，以大規模集成電路為代表的微電子產品的生產對高純氣體的純度和雜質含量的要求越來越嚴格，使得高純氣體的管道技術日益受到關注和重視。
高純氣體輸送系統中氣體與管道的關系
高純氣體輸送系統中氣體與管道的關系
高純氣體輸送系統中氣體與管道的關系
【概要描述】高純氣體管道技術是高純氣體供應系統的重要組成部分，是能否將符合要求的高純氣體輸送到用氣點并保持質量合格的關鍵技術。所謂高純氣體管道技術包括系統的正確設計、管件和附件的選擇、施工、安裝、試驗等。近年來，以大規模集成電路為代表的微電子產品的生產對高純氣體的純度和雜質含量的要求越來越嚴格，使得高純氣體的管道技術日益受到關注和重視。
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高純氣體管道技術是高純氣體供應系統的重要組成部分，是能否將符合要求的高純氣體輸送到用氣點并保持質量合格的關鍵技術。所謂高純氣體管道技術包括系統的正確設計、管件和附件的選擇、施工、安裝、試驗等。近年來，以大規模集成電路為代表的微電子產品的生產對高純氣體的純度和雜質含量的要求越來越嚴格，使得高純氣體的管道技術日益受到關注和重視。
高純氣體作為現代工業的重要基礎原料，有著廣泛的用途，廣泛應用于冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫療等部門。氣體的應用，特別是這些領域的高科技，有著重要的影響，是不可或缺的原料氣或工藝氣。只有在各種新的工業部門和現代科學技術的需要和推動下，氣體工業產品才能在品種、質量和數量上迅速發展。
高純氣體的使用在半導體制造過程中一直起著重要的作用，尤其是半導體制造過程目前已經廣泛應用于各個行業。從傳統的ULSI、TFT-LCD到現在的MEMS產業，都是采用所謂的半導體制造工藝作為產品的制造工藝，包括干法刻蝕、氧化、離子注入、薄膜沉積等。所有這些都使用相當多的氣體，并且氣體的純度對于部件性能和產品產量是決定性的。
高純管道在高純氣體輸送中的意義：在不銹鋼冶煉過程中，每噸可吸收約200g氣體。不銹鋼經過處理后，不僅各種污染物粘在它的表面，還有一定量的氣體被困在它的金屬網格里。當管道中有氣流時，這部分被金屬截留的氣體會重新進入氣流，污染純凈的氣體。當管道中的氣流不連續時，管道在壓力下吸收通過的氣體，當氣流停止時，被管道吸收的氣體變得減壓并被分解，被分解的氣體也作為雜質進入管道中的純氣體。同時，吸附和分析的循環使管道內表面的金屬產生一定的粉末，也污染了管道內的純凈氣體。管道的這一特性非常重要。為了確保輸送氣體的純度，要求管道的內表面不僅具有非常高的光滑度，而且具有高的耐磨性。
當使用腐蝕性強的氣體時，需要使用耐腐蝕的不銹鋼管作為管道，否則管道內表面會因腐蝕而產生腐蝕斑，嚴重時會出現大塊金屬剝落甚至穿孔，從而污染輸配用的純凈氣體。大流量、高純度、高潔凈度氣體輸配管道的連接原則上應全部采用焊接，要求管道在焊接過程中結構無變化。焊接含碳量超標的材料時，在焊接部位通風，使管內外氣體相互滲透，破壞了輸送氣體的純凈、干燥和清潔，導致我們的一切努力都沒有意義。綜上所述，對于高純氣體和特殊的輸氣管道，需要采用一種經過特殊處理的高純不銹鋼管，這樣高純管道系統在高純氣體分配中起著至關重要的作用。
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